Đây là con chip theo công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) đầu tiên của Việt Nam được sản xuất ở quy mô nhiều chip trên một wafer (khay đựng chip), với nhiều kích thước và dải đo khác nhau được thực hiện tại Khu công nghệ cao TPHCM đã cho thấy hướng đi mới trong kết hợp phát triển sản phẩm công nghệ.
>> Việt Nam lần đầu tiên sản xuất thành công chip cảm biến áp suất
Trung tâm Nghiên cứu và triển khai R&D (Khu công nghệ cao TPHCM) và Trung tâm Nghiên cứu và đào tạo thiết kế vi mạch ICDREC (Đại học Quốc gia TPHCM) vừa tuyên bố sản xuất thành công chip cảm biến áp suất với nhiều tính năng vượt trội. Đây cũng là sản phẩm được phát triển trên cơ sở đề tài cùng đối tượng nghiên cứu đã được Hội đồng Khoa học Sở KH-CN TPHCM nghiệm thu đạt loại khá vào tháng 7-2013.
Sản xuất chip cảm biến áp suất trong phòng sạch tại Khu công nghệ cao TPHCM.
Tận dụng lợi thế
Theo thạc sĩ Trương Hữu Lý, trưởng nhóm nghiên cứu chip cảm biến áp suất của Trung tâm Nghiên cứu và triển khai R&D (Khu công nghệ cao TPHCM), chip cảm biến áp suất ứng dụng rộng rãi trong đời sống, công nghiệp và y tế. Trong công nghiệp, chip cảm biến áp suất có tác dụng kiểm soát áp suất đường ống, khí gas. Trong lĩnh vực y tế, chip cảm biến áp suất dùng trong thiết bị đo huyết áp. Còn trong đời sống, chip cảm biến áp suất dùng trong các thiết bị đo mực nước như máy giặt, máy rửa chén, bồn nước. Ngoài ra chip cảm biến áp suất còn được sử dụng để chế tạo thiết bị đo và lưu trữ thông tin mực nước, phục vụ chương trình thủy lợi cũng như chống ngập úng. “Chip cảm biến áp suất sẽ được ứng dụng rộng rãi trong rất nhiều lĩnh vực đời sống…” - ông Lý khẳng định như vậy.
Với khả năng ứng dụng rộng rãi và quan trọng hơn, đây là con chip theo công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) đầu tiên của Việt Nam được sản xuất ở quy mô nhiều chip trên một wafer (khay đựng chip), với nhiều kích thước và dải đo khác nhau được thực hiện tại Khu công nghệ cao TPHCM đã cho thấy hướng đi mới trong kết hợp phát triển sản phẩm công nghệ. Ông Ngô Đức Hoàng, Giám đốc ICDREC (Đại học Quốc gia TPHCM) cho biết: Chip cảm biến áp suất là dự án kết hợp giữa hai đơn vị: Trung tâm R&D và ICDREC. Trung tâm R&D có phòng sạch, thiết bị để chế tạo; còn ICDREC thiết kế cấu trúc chip cảm biến và phát triển ứng dụng. Khi phát triển chip cảm biến áp suất, chúng tôi hướng đến mục tiêu dùng chip cảm biến áp suất kết hợp với bộ vi xử lý (SG V8-01 của ICDREC) để tạo ra những sản phẩm ứng dụng như nói trên.
Kế thừa, phát triển tốt hơn
Ông Dương Minh Tâm, Phó Giám đốc Khu công nghệ cao TPHCM cho biết: Chip cảm biến áp suất được sản xuất trên công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) đầu tiên của Việt Nam. Bước đầu, chip cảm biến áp suất của Trung tâm R&D đã được sản xuất ở quy mô phòng thí nghiệm với độ đồng nhất trên 80%, nghĩa là trên một wafer 4 inch (sẽ sản xuất được 150 con chip), số lượng sản phẩm đạt chuẩn trên 80% (sản xuất thủ công). Nếu sản xuất trên dây chuyền công nghiệp, tỷ lệ này ước đạt trên 95%.
Cần nói thêm, đây là sản phẩm được phát triển trên cơ sở một đề tài cùng đối tượng nghiên cứu đã được Hội đồng Khoa học Sở KH-CN TPHCM nghiệm thu đạt loại khá vào tháng 7-2013. Tuy nhiên, so với sản phẩm của đề tài nghiên cứu trước đây thì sản phẩm chip cảm biến áp suất của Trung tâm R&D và ICREC cho ra mắt lần này hoàn thiện hơn về quy trình chế tạo, kiểm soát được yếu tố kỹ thuật như mở rộng và hoạt động được trong nhiều dải áp suất (0-1 bar, 0-10 bar, 0-20 bar…), kiểm soát được độ nhạy, độ ổn định, độ tuyến tính… Được biết thời gian thực hiện đề tài cấp sở nói trên là 2 năm và hiện đang tiếp tục được nghiên cứu và hoàn thiện quy trình thêm 6 tháng tại Khu công nghệ cao TPHCM.
Đây là sản phẩm kế thừa và phát triển từ một công trình của Sở KH-CN TPHCM nên nếu thương mại hóa thành công thì nhà sản xuất phải “đóng góp” lại cho đơn vị giữ quyền sở hữu trí tuệ. Ông Dương Minh Tâm cho biết thêm: “Kỳ vọng chip cảm biến áp suất này sẽ là điểm sáng trong việc đóng góp sở hữu trí tuệ trên sản phẩm công nghệ và qua đây cũng kỳ vọng sẽ mở ra thời kỳ trao quyền sở hữu trí tuệ từ các công trình nghiên cứu của nhà nước cho các nhóm phát triển”.
Thông số kỹ thuật chip cảm biến áp suất
° Kích thước: 8x10mm, 6x8mm, 3x5mm. Dự kiến phát triển chip dưới 0,5x1mm.
° Chế tạo được nhiều loại chip hoạt động ở nhiều dải đo: 0-1 Bar, 0-10 Bar, 0-20 Bar… tùy theo yêu cầu sử dụng.
° Nhiệt độ hoạt động: -40°C tới +150°C.
° Độ tuyến tính <1%.
° Giá thành rẻ, độ ổn định và độ lặp lại cao.
Bá Tân
Theo SGGP Online
